- [鑫藍(lán)動(dòng)態(tài)]半導(dǎo)體含砷廢氣處理設(shè)備[ 2023-12-29 00:00 ]
- 半導(dǎo)體工業(yè)是現(xiàn)代工業(yè)的重要組成部分，其生產(chǎn)過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生大量的廢氣。其中，含砷廢氣是一種難以處理的有毒廢氣，因其含有高濃度的砷元素，對(duì)人體和環(huán)境造成的危害性非常大。因此，半導(dǎo)體含砷廢氣處理一直是工業(yè)領(lǐng)域的難題。 半導(dǎo)體含砷廢氣的成分 半導(dǎo)體含砷廢氣的主要成分是砷化氫（sH3）和三甲基砷（TM）。其中，砷化氫是一種無(wú)色、有毒、易燃的氣體，具有強(qiáng)的損傷作用，能破壞人體細(xì)胞的DN，導(dǎo)致中毒；而三甲基砷則是一種有機(jī)砷化合物，同樣具有毒性。 半導(dǎo)體含砷廢氣的治理方法
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